0.768nm堪比两个硅原子!美国造出全球最高分辨率的光刻机 众所周知,目前5nm及以下的尖端半导体制程必须要用到价格极其高昂的EUV光刻机,ASML是全球唯一的供应商。 更为尖端2nm制程的则需要用到ASML新一代0.55 NA EUV光刻机,售价或高达... 大千世界 2022-09-25 106 #光刻机 #纳米工艺